大家都知道真空等離子清洗機(jī)處理工件的環(huán)境是在真空進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染，泄壓時(shí)可以選擇氮?dú)庑箟海苊饪諝庑箟簩?duì)工件的影響，真空等離子清洗機(jī)的應(yīng)用，起源于20世紀(jì)初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來(lái)越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。然而市面上等離子清洗機(jī)系統(tǒng)有眾多的品牌和型號(hào)，而等離子清洗技術(shù)又對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響很大，在電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。隨著越來(lái)越多行業(yè)應(yīng)用到等離子清洗機(jī)，那么怎么選擇適合自己的等離子清洗機(jī)就成為了尤為重要的一個(gè)問(wèn)題，今天我們就來(lái)談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗機(jī)該如何選型。
       1.真空等離子清洗機(jī)的工件大小
       真空等離子清洗是要把工件放入真空清洗腔內(nèi)進(jìn)行清洗，選擇真空清洗腔尺寸的參考因素是工件的大小和批處理的數(shù)量，一般科研型的真空等離子清洗機(jī)的腔體是圓柱體的，容積有2L、3L、5L和10L，結(jié)合工件的大小和批處理的數(shù)量選擇適合的真空腔體。
       2.真空等離子清洗機(jī)的產(chǎn)能
       任(何)產(chǎn)品如果有產(chǎn)能要求的話，肯定是需要根據(jù)產(chǎn)能來(lái)選腔體大小，腔體越大也就意味著一次能處理的產(chǎn)品也就更多，如果對(duì)產(chǎn)能沒有太多要求的話，優(yōu)先考慮工件大小。在工件能夠放下的前提下，我們?cè)诟鶕?jù)產(chǎn)能計(jì)算得出合適的腔體尺寸。我們還要考慮的問(wèn)題，就是選擇哪種頻率的等離子清洗機(jī)。
       3.真空等離子清洗機(jī)頻率的選擇
       目前常見的頻率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)，需要對(duì)材料進(jìn)行活(化)、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)，需要對(duì)材料進(jìn)行活(化)、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗。
       4.真空等離子清洗機(jī)腔體材質(zhì)的選擇
       目前常見的腔體材質(zhì)有以下幾種，石英腔體，不銹鋼腔體，鋁合金腔體，三種腔體各有各的優(yōu)勢(shì)，石英腔體溫度低，且不易發(fā)生反應(yīng)。鋁合金腔體的優(yōu)勢(shì)：1、 鋁合金密度低，強(qiáng)度高，超過(guò)優(yōu)質(zhì)鋼，機(jī)械加工性能比較好。 2、 鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性。 3、材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。
       5.真空等離子清洗機(jī)真空泵的選擇
       是選擇國(guó)產(chǎn)的泵，還是進(jìn)口的，是干泵還是油泵，是單級(jí)泵，還是雙極泵，每一種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶的實(shí)際需要來(lái)選取，這里就不做過(guò)多的贅述。
       6.真空等離子清洗機(jī)氣路的選擇
       常見的真空等離子清洗機(jī)都是兩路氣體通道，但是這并不能滿足所有的處理需求，如果需要更多的反應(yīng)氣體，那么氣體通道就要適當(dāng)增加，這個(gè)也是根據(jù)客戶的實(shí)際需求來(lái)選擇幾路氣體通道。
       7.真空等離子清洗機(jī)選擇的品牌
       進(jìn)口等離子清洗產(chǎn)品發(fā)展較早，產(chǎn)品較為成熟，但供貨時(shí)間較長(zhǎng)，售后維修服務(wù)不及時(shí)，產(chǎn)品升級(jí)換代較慢，在人性化設(shè)計(jì)、自動(dòng)化程度和擴(kuò)展應(yīng)用上沒有及時(shí)更新、升級(jí)，且價(jià)格較高。 國(guó)內(nèi)等離子清洗市場(chǎng)處于快速發(fā)展階段，各個(gè)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊，有些廠家缺乏基礎(chǔ)研究和應(yīng)用知識(shí)，品牌意識(shí)不強(qiáng)，對(duì)售后服務(wù)不重視，一錘子買賣。

       等洗處理工件歸納起來(lái)有兩方面的作用——物理和化學(xué)。物理作用——利用等離子體里大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把工件表面的原子或附著材料表面的原子打掉，清(除)表面原有的污染物和雜質(zhì)，與此同時(shí)會(huì)產(chǎn)生刻蝕效應(yīng)，將工件表面變“粗糙”，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面積，提高工件表面的潤(rùn)濕性能。
       真空等離子清洗儀在發(fā)展過(guò)程中，不斷結(jié)合客戶的實(shí)際需要開發(fā)出新的功能， 從功能上來(lái)分真空等離子清洗機(jī)主要分為手動(dòng)版和自動(dòng)版，手動(dòng)版也叫基礎(chǔ)版，價(jià)格較為便宜，自動(dòng)版相對(duì)于手動(dòng)版功能上增加了設(shè)置清洗時(shí)間、自動(dòng)泄壓、微電腦控制、提供兩路進(jìn)氣（以便在清洗的時(shí)候通入氧氣，所以也有客戶把可以通入氧氣清洗的等離子清洗機(jī)稱為氧等離子清洗機(jī)），泄壓速度可以調(diào)節(jié)（適用于清洗石墨烯或者金屬氧化物粉末），泄壓時(shí)可以提供氮?dú)庑箟旱慕涌诘龋ㄗh客戶在預(yù)算充裕的情況下選擇自動(dòng)版本，后期的使用要方便很多。